中古 SPEEDFAM 84 BAW #9207276 を販売中

SPEEDFAM 84 BAWは、各アプリケーションで優れた品質の結果を得るために設計された、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研磨加工と化学加工の組み合わせにより、ウェーハ表面になめらかで光沢のある仕上がりを実現しています。システムは自動化されています。ユーザーは単に単位の粉砕のテーブルに基質を荷を積み、望ましい変数を置き、機械は安静の世話をします。オペレータは特定の要求に適するために粉砕プロセスを調節でき、変数は必要ならばプロセスの途中で変えることができます。84 BAWは一連の粗く、良いダイヤモンドの車輪、ラッピングおよび磨くテープおよびスラリー、また望ましい結果を達成するために回転機械ポリッシャーを使用します。研磨材料は、アプリケーション全体で均一な仕上がりを確保するために、異なる負荷、研削速度、時間設定で適用されます。平坦度が1um未満、面粗さが0。04um以下の反りのない表面を生成≤ように設計されています。機械は、異なるサイズと厚さの複数の基板を同時に粉砕し、研磨することができる完全に自動化された発振機構を備えています。また、後処理の透明接着ツールを備えており、加工後にサンプルを素早く除去することができます。さらに、プラットフォームには温度、圧力、給水用の幅広いセンサーが装備されており、最適な動作と結果を保証します。SPEEDFAM 84 BAWは、簡単な監視と制御のためのグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。ダッシュボードは、研削パラメータの選択、操作シーケンスの開始、および処理情報の評価を可能にします。さらに、この資産は、ハードウェアまたはソフトウェアが故障した場合にオペレータや操作プロセスを保護するためのさまざまな安全機能を統合しています。全体的に、84 BAWは、複数のアプリケーションのための研削、ラッピング、研磨ウェーハのための強力な機器であり、より高い精度と再現性を可能にします。自動化されたモデル、幅広いセンサー、調整可能なパラメータ、直感的なグラフィカルインターフェイスにより、効率的で信頼性が確保されています。