中古 SPEEDFAM 6B-7L/P #9191612 を販売中

SPEEDFAM 6B-7L/Pは、優れたウェーハ表面仕上げと性能を提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。GaAs、 InP、 GaNデバイスなどの半導体および光電子デバイスの製造に適しています。このシステムは、ダイヤモンド含浸粉砕ホイール、特殊ラッピングヘッド、研磨ヘッドを組み合わせて、プロセス制御、高速サイクルタイム、各ウェーハ表面の均一性により実現します。SPEEDFAM 6B-7L/Pユニットは、ダイレクトドライブスピンドル、プログラマブル研削およびラッピング力、精密Z軸モーション、多機能ヘッドなどのマシン機能を備えたフル機能のソリューションです。このマシンはまた、ウェーハのクイックローディング、タッチスクリーンインターフェイス、およびクイックセットアップと操作のための組み込みのチュートリアルをサポートするスマートな固定ツールを備えています。研削ヘッドはダイヤモンド研磨を最大限の研削効率で使用し、ラッピングヘッドは独自の検証Plus™ヘッドを使用して均一なラッピング面を実現します。研磨ヘッドには、操作が簡単で自動化された再循環アセットが含まれており、圧力、速度、気流を調節するのに役立ちます。SPEEDFAM 6B-7L/Pはまた調節可能な粒子の霧の分離器、封じられた金属ハウジングおよび閉鎖したループポンプのオイルのスプレーヤーのようなクリーンルームの友好的な特徴を、組み込むように設計されています。さらに、このモデルは、異なるウェーハ材料、解像度、および最適化されたサイクルパラメータに対応するプロセスパラメータを備えています。SPEEDFAM 6B-7L/Pには、ウェーハごとに個別のセットアッププロファイルを設定できるため、一貫性と品質保証が向上します。また、すべてのプロセスパラメータのオンラインデータ追跡、機械のメンテナンス、トラブルシューティング、プロセスの再現性を提供します。また、自動洗浄再循環装置や自動集塵機を活用することで、廃棄物の削減にも6B-7L/Pしています。SPEEDFAM 6B-7L/Pは、堅牢で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。最適な仕上げ、均一性、一貫したフォームファクタを備えた高品質のウェーハの製造に適しています。クリーンルームのフレンドリーな機能、直感的なタッチスクリーン制御、完全に自動化された操作により、半導体およびオプトエレクトロニクス部品の研削、ラッピング、研磨に信頼性の高い強力なソリューションです。