中古 SPEEDFAM 64 BSW #293606142 を販売中

SPEEDFAM 64 BSWウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、高精度で自動化されたクローズドループマシンで、半導体ウェーハおよびフラット面の低平均粗度および表面平滑性を実現します。ハイエンドの精密表面仕上げを必要とする大部分（直径300mmまで）で、非常に滑らかで低い傷の表面を作成するのに理想的です。64 BSWは、高効率処理を可能にし、信頼性の高い革新的な設計プラットフォームを組み込んでいます。高度なモーションコントロールシステムにより、正確なプログラミングと反復可能な結果が得られます。ハイエンドのエアベアリングスピンドルは、最高の効率と一貫性のために振動のない動作を生み出します。プロセス駆動制御ユニットにより、オペレータインターフェイスと操作が容易になり、自動自己診断と分析が完了して最大のパフォーマンスを保証します。オープンループ制御機は、作業プロセスの柔軟性を可能にします。内蔵の電源監視ツールにより、信頼性がさらに向上します。プロセス精度を高めるために、SPEEDFAM 64 BSWには、ワーク保持性を向上させるための真空チャックが含まれており、ウェーハのローカルおよびグローバル温度制御用の統合冷却が含まれています。クローズドループ制御アセットは、長期間にわたって正確であり、単調な再現性を提供します。さらに、64 BSWは、ダイヤモンドおよびアルミナ研磨ディスク、自然潤滑モデル、シンクイン仕上げアクションなどの研削、CMP、研磨プロセス技術の選択肢を利用しています。効果的かつ効率的な材料は、適切な力で機器に電力を供給し、理想的な表面仕上げ品質を提供することができます。SPEEDFAM 64 BSWは、低所有コストで可用性を維持しながら、高い品質と効率で動作するように設計されています。高精度かつ高精度なシステムにより、基板上に高い信頼性、再現性、および低スクラッチ面を生成することができます。結果は、一貫した耐久性のあるサイズ、形状、形状を備えた滑らかで平らな表面です。この機械は、医療、自動車、家電産業向けの高品質で精密な部品を製造するための費用対効果の高いソリューションを提供します。