中古 SPEEDFAM 64 BAW #9226536 を販売中

SPEEDFAM 64 BAWは、ウェーハ表面の迅速かつ正確な製造のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。小型のフットプリントと強力なユーザーインターフェイスを備えた大容量の自動システムで、研削、ラッピング、研磨プロセスを簡素化および合理化するように設計されています。64 BAWは、最大64個の4インチウェーハと最大帯域幅0。25mmの研削能力を備えています。高速7軸テーブルを備えた精密な5軸モーションコントロールユニットにより、精密な高速研削、ラッピング、研磨が可能です。テーブルは精密位置決め機を備えており、微細なステップ分解能でテーブルを3方向に回転させることができます。SPEEDFAM 64 BAWは、優れた表面品質をもたらすダイヤモンドホイールのリード仕上げ技術を利用しています。高精度の鉛の仕上げは、自由な表面と均一な表面粗さで粉砕します。これは、手動で製造された表面よりも大幅に優れています。また、研削中の騒音や振動を低減する磁気流体ダンパーツールを採用しています。アセットには、お客様のニーズに最適に調整できるさまざまなプロセスパラメータが付属しています。研削、ラッピング、研磨パラメータを自動的に調整するようにプログラムすることで、一貫した表面品質を維持し、サイクルタイムを最小限に抑えることができます。64 BAWモデルは完全に自動化されており、Class 100およびClass 1000 Cleanliness規格のクリーンルーム環境での動作が可能です。また、ウェーハ粒子との接触を避け、汚染や空気粒子の汚染を最小限に抑える、危険な環境保護機能も備えています。SPEEDFAM 64 BAWは、半導体ウェーハやその他の基板の大量研削、ラッピング、研磨を可能にする、効率的で信頼性の高い装置です。直感的なユーザーインターフェイス、効率的なオートメーション、危険な環境保護と組み合わせることで、優れた表面品質と最小のサイクルタイムでウェーハ表面を生産するための理想的なシステムです。