中古 SPEEDFAM 625 TFG #9251412 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9251412
ヴィンテージ: 2000
Lapping machine, 18"
Wide track, 6"
Maximum part size: 6" H x 6" W x Unlimited length
Minimum part size: 0.040" H x 1/2" Dia
Spindle speed: 1200 RPM
Feed rates: 0 - 36 FPM
Wheel size: 18" Dia x 3" x 10"
Belt size: 6" x 120"
Magnetic table size: 36" x 6"
Size control: Automatic air gauge
Control compensation: 0.0005"
Spindle drive motor: 25 HP
Electrics wire: 460 V, 3 Phase, 60 Hz
Four post housing design
Atomic air gauging system
Automatic wheel wear compensation through air gauging+
Automatic wheel dressing+
SONY MILLMAN LH 51 Read-out system
Push button control station
Conveyor belt with analogical digital display
Electro-matic chuck control with nutrifier
Electro-matic demagnetizer unit
Vari-speed return conveyor
Coolant distribution system
Coolant filtration system
2000 vintage.
SPEEDFAM 625 TFGウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ウェーハやその他の基板の高精度な研削、ラッピング、研磨のために設計されたフル機能マシンです。高速、耐久性、信頼性の高いスピンドルモータを使用して、長時間の作業で正確で一貫した結果を生み出します。このシステムは最大60,000 RPMを提供し、従来のシステムの最大5倍の速度を生成します。また、より高い材料除去率と優れた研磨およびラッピング結果のための高度な研削ホイールが含まれています。SPEEDFAM 625TFGユニットは、ウェーハの回転速度を制御するためのインフィードマシンを採用し、ウェーハの均一な表面を維持します。このツールはまた、環境の改善とより長い作業期間を可能にする高効率の集塵資産を誇っています。また、プロセスの結果を監視し、レポートを生成し、生産品質を最適化するのに役立つ自動データ収集機能も備えています。さらに、625 TFGモデルは、簡単な操作とリモートアクセス機能を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイス上で動作します。625TFG装置は、ウェーハサイズと種類の範囲のためのウェーハホルダーの配列を提供しています。薄いウェーハには標準的なドライグラインドウェーハホルダー、より大きなウェーハや平面研削には標準的なウェットグラインドウェーハホルダーがあります。ドライグラインド、ラッピング、研磨ホイールヘッドは、アルミナ、ダイヤモンド、炭化ケイ素などのさまざまな材料のウェハ研削、ラッピング、研磨に汎用性を提供します。このシステムはまた、最適な材料除去のためのメディアヘッドの範囲を備えています。全体的に、SPEEDFAM 625 TFGウェーハ研削、ラッピング&研磨ユニットは、正確なウェーハ処理のための信頼性と効率的なソリューションです。高精度の研削、ラッピング、研磨だけでなく、ウェハホルダー、研削、研磨ヘッドの広い範囲を提供しています。また、ウェーハ表面処理の均一性を高めるための自動データ収集、リモートアクセス操作、オートフィードインフィードホイールも提供しています。SPEEDFAM 625TFGウェーハ研削、ラッピング&研磨機は、高精度のウェーハ加工を必要とするあらゆる業界にとって理想的な選択肢です。
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