中古 SPEEDFAM 5B-8L-I #9208858 を販売中

SPEEDFAM 5B-8L-Iウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、最高の精度でウェーハを研磨するために設計された自動化、自己完結型、および統合された処理システムです。これは、高効率の切断プロファイルを含む研磨ヘッドのユニークな機能と独立したスピンドルドライブを組み合わせることによって行われます。ユニットはまた、新しいツールやアップグレードの簡単な追加を可能にするモジュラー設計を備えています。この機械は、固定式ウエハチャックと調整可能なスピンドルを組み合わせて設計されており、研削パラメータを正確に選択できます。スピンドルは0〜3,500rpmの様々な速度が可能で、最大0。1mmの精度でウェーハを研削ヘッドに供給することができます。研削ヘッドは、最大70度の角度を達成することができる調整可能なスピードモーターによって駆動される回転ダイヤモンドディスクで構成されています。これにより、研削力がウェーハ表面に均等に向けられ、カットの均一性が向上します。このツールの精度は、調節可能な深度計によって可能になり、ウェーハ全体のカットの一定の一貫性のある深さを可能にします。アセットのラッピングステージは、ラッピングディスクである炭化ケイ素グリットペーパーをウェーハ表面に導く2つのサーボモータによって駆動されます。ラッピング速度は調整可能で、0〜2000rpmの範囲です。このステージは空気圧制御モデルによって制御され、制御されたラッピング操作において高い精度と均一性を提供します。装置の研磨段階は、油圧駆動のプラテンによって可能になり、テーブルの滑らかな往復を保証し、均一な仕上げを提供します。プラテンは0から15まで調節可能な異なったパスを行うことができます。研磨中、表面には、ポンプによって一定の流れに加えられた水ベースの液体が潤滑され、研磨欠陥の発生を防ぎます。このシステムには、研磨中の往復モータの速度を正確に制御するデジタルエンコーダも含まれており、均一で滑らかな結果を得ることができます。ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニット内5B-8L-I機能を活用することで、高速動作と優れたプロセス制御により、表面を一貫して正確に研磨することができます。したがって、このマシンは、高効率の要求を持ち、最高の結果を達成するために探している顧客のための完璧な選択です。