中古 SPEEDFAM 5B-7L #9276666 を販売中

SPEEDFAM 5B-7Lは、フォトニクス、MEMS、医療機器、その他のマイクロスケール製品などの用途に高精度の加工ソリューションを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、CMPと半導体基板を仕上げる効率的な方法を提供します。研削ユニット、ラッピングユニット、研磨ユニット、真空ユニット、シャワーユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。研削ユニットは高度な5軸で高精度な動作を実現し、ウェーハ表面のサブミクロン精度を実現しています。ダイヤモンドとCBNの2種類の研削砥石で使用でき、最大2つの独立したモーターを使用して、ウェーハ表面の滑らかで一貫した構造を保証します。このユニットには調整可能な自動パワーコントロール機能も装備されており、ホイールのアンバランスによる研削軸の不均一な動きを取り消します。ラッピングユニットは円筒形と平らな面のラッピング用に設計されています。研磨石はラッピングプロセスを制御するために使用されますが、さまざまな基板のラッピングプロセス要件に合わせて幅広い研磨スラリーが利用できます。ラッピングユニットは、研削ホイール速度の自動調整も備えており、ラッピングパラメータを正確に制御し、可能な限り最高の精度と表面仕上げを提供します。研磨ユニットの主な目的は、さまざまな研磨材料と技術を使用して、ウエハ表面に光沢のある高品質な仕上がりを実現することです。スラリー分散、バッファリング、パッド調整など、さまざまな種類の研磨方法を組み合わせることで、望ましい結果を得ることができます。最後に、掃除機とシャワー機は、すべての研削、ラッピング、研磨プロセスによって生成される破片を取り除くことによって処理中にウェーハ全体を洗浄する責任があります。単一の集塵源を使用し、メンテナンスの必要性を大幅に低減します。このツールは、効率的な吸引機能の恩恵を受け、資産全体のパフォーマンスを低下させることなく、ほこりの粒子をすばやく除去します。5B-7Lは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨要件のソリューションをお探しの方に最適です。比類のない精度と最高の生産率を提供します。これらの異なる機能とコンポーネントを使用することにより、モデルは優れた品質の製品を提供することができます。