中古 SPEEDFAM 5B-7L-II #293616758 を販売中

SPEEDFAM 5B-7L-IIは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、複数のタイプの半導体材料を研削、ラップ、研磨し、さらに加工するための精密加工面を生成するように設計されています。ユニットは、高精度と使いやすさとメンテナンスのために設計されています。そのコンポーネントは、セットアップ時間を最小限に抑えながら、さまざまな材料やプロセスに最大限の柔軟性を提供するように設計されています。マシンの主な動作原理は、いくつかの段階の組み合わせです。これは、最大7つのウエハをサポートする8ステーションロータリーテーブルから始まります。ウェーハは設置され、真空チャックで装填されます。一度固定すると、ダイヤモンド工具を使用してウェーハの表面を研削するために、ロータリーテーブルと結合された硬化工具が使用されます。その後、ラッピングステーションに移動し、ダイヤモンド埋め込みラッピングプレートを使用してさらに研磨します。必要に応じてラッピングプロセスが繰り返され、目的の表面仕上げが達成されます。その後、ウエハを研磨ステーションに移して仕上げます。ここでは、ウェーハはダイヤモンド埋め込み研磨板によって機械的に研磨されます。最後に、マシンからアンロードされる前にウェーハを検査します。その主な機能の中で、5B-7L-IIは作業中にウェーハに完全な保護を提供するユニークな集塵機を統合しています。このツールは、マシンの下部にある真空チャンバーと別の空気ろ過ユニットで構成されています。これは、ほこりのない作業環境、高い処理能力、最適な性能を提供します。このマシンには、操作を制御し、リモート監視とパラメータ調整を容易にする組み込みコンピュータ資産も装備されています。さらに、機械はプロセス全体で必要に応じて自動的に操作パラメータを調整することができ、結果として一貫して高品質の製品になります。SPEEDFAM 5B-7L-IIの汎用性と精度により、このモデルは産業用途や優れた加工面を必要とするあらゆる用途に最適です。この装置は、半導体、IC、その他の電子部品の製造に使用され、最適な性能のための最高の表面を作成します。それは自動車、航空宇宙、医学、消費者プロダクトおよび他の企業で使用されます。