中古 SPEEDFAM 59 SPAW #9073254 を販売中

SPEEDFAM 59 SPAWは半導体産業で使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大11個のウェーハを同時に処理できる多軸システムです。高精度低振動動作により、ラッピング、研磨、平坦度の測定を1回の操作で行うことができます。59 SPAWには5つのサーボ駆動軸が装備されています。X、 Y、 Z軸は、研削/研磨ヘッドの3次元移動と回転を可能にします。さらに、B軸とA軸はそれぞれX方向とY方向に4次元マーキングと45度の位置決めを可能にします。2つのA- B軸を追加することで、全面研削または研磨の処理が可能になります。SPEEDFAM 59 SPAWは、完全に密閉されたチャンバーを備え、ほこりのない環境を提供します。空気圧加湿器を装備しており、低温・高湿条件下での研磨・研磨に適しています。統合された抽出および再循環ユニットは、全体的な清浄度と空気品質管理を提供します。単結晶・多結晶ウエハの研磨・研磨に適しています。8種類の研削盤、樹脂ボンドダイヤモンドディスク、研磨研削コーナー、超音波切削ディスクに対応し、様々な用途に適しています。さらに、インクジェットディスペンサーを使用して、研削/研磨化合物をワークに正確に適用します。59 SPAWは既存のラインとの統合の容易さを提供します。これは非常にプログラム可能であり、ユーザーは要件に応じてレシピとセットアップパラメータを保存できます。オプションのAuto Load/Unloadマシンは、バッチ処理とルーチンジョブに役立ちます。また、リモートメンテナンスが容易な外部診断ポートも備えています。結論として、SPEEDFAM 59 SPAWは、半導体産業のための効率的で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピングおよび研磨ツールです。それは優秀な精密、操作の容易さおよび塵なしの操作のための十分に封じられた部屋を提供します。Auto Load/Unloadアセット、インクジェットディスペンサー、オプションのA-B軸、外付け診断ポートなどの追加機能により、59 SPAWは困難なウェーハ処理アプリケーションに最適です。