中古 SPEEDFAM 52 SPAW #9073253 を販売中

SPEEDFAM 52 SPAWは、さまざまな用途に対応する高精度の表面処理を提供するように設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体デバイス基板、セラミックウエハ、光学材料、圧電素子など、要求の厳しいウェーハ研削・研磨に対応する最先端の技術を提供します。ドライブモーターとテンショナーを収納するトップマウントホルダーと、オプションのスピードスタビライジングユニットを備えたローマウントの反転ウェーハ研削部の2つのユニットから構成されています。このホルダーは剛性のあるコラムに取り付けられ、オペレータが制御する速度調整制御を備えているため、高精度な表面研削と研磨が可能です。円形のプリロード・ベアリングは振動を最小限に抑え、強力な連続可変速度駆動モータは高速でも正確な材料除去を保証します。下側の反転ウェーハ研削部には、垂直方向に調整可能な2つの高精度ダイヤモンド研削と研磨ヘッドが装備されています。ダイヤモンドの頭部は優秀な同心性のための適用範囲が広い裏付け版を特色にします。研磨ヘッドは、オペレータが制御する速度調整制御で調整可能で、材料を除去しながら正確な反復と均一な結果を得ることができます。52 SPAWには、摩擦、ストリクション、高圧ウエハ研削およびラッピングプレートの選択も含まれ、究極の研磨性能を実現します。さらに、機械は研削および研磨クーラントを受け入れるように設計されており、作業全体にわたって一貫した研削および研磨環境を確保します。SPEEDFAM 52 SPAWは非常に精密で高効率なため、半導体デバイス基板、セラミックウエハ、光学材料、圧電素子など、さまざまなウェハ研削アプリケーションに最適です。