中古 SPEEDFAM 50 SPAW #9212224 を販売中

SPEEDFAM 50 SPAW （Single Plate Automatic Waher Grinding、 Lapping&Polishing）装置は、次世代ウェハレベル製品の処理時間を最小限に抑えるように設計された統合ウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションです。このシステムは、単一のプラットフォーム上でウェーハを研削、ラッピング、研磨することができ、従来のマルチステッププロセスソリューションに代わる効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。さまざまなスピンドルヘッドで動作し、速度と送り速度が変化するため、50 SPAWは最大300mm、厚さ100mmまでのウェーハを自動的に連続処理し、最大10gの遠心力で高速スピンドル精度とラッピングの均一性を実現します。このユニットには、ダイヤモンド研削および研磨ホイール、ウェーハホルダー、研磨アーバーなど、さまざまなプロセス固有のコンポーネントが含まれており、ユーザーは細かい表面仕上げ、高精度の寸法公差、優れた平坦性のために、ニーズに応じてアプリケーションをカスタマイズすることができます。生産性向上のために、SPEEDFAM 50 SPAWは効率的な連続ループマシンを備えており、プロセスの次のステップのために処理されたウェーハが次のステーションに送られ、プロセス中にオペレータの介入を必要とせずにすべてのツールが自動的にツールにロードされます。プログラミングは、アセットの「オペレータステーション」端末を介してオンサイトで行うことができ、設定を調整してプログラムを変更することができます。50 SPAWは、防音、軽量のエンクロージャで保護されたオペレータを含む、最前線で安全に設計されています。多数のインターロックとフェイルセーフにより、最小限の破壊と最大の耐久性で継続的な動作を保証します。要約すると、SPEEDFAM 50 SPAWは究極のウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションです。「フルプレート」機能、高精度のプロセスパラメータ、自動化されたオプション、「メンテナンスなし」設計、さまざまな安全機能により、50 SPAWは業界に革命をもたらす可能性を秘めています。