中古 SPEEDFAM 50 SPAW #293723765 を販売中

SPEEDFAM 50 SPAWは、薄膜ウェーハの研削、ラッピング、研磨を最適化するために特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。専用の回転ベースと独自のサスペンションユニットを採用し、気流の乱れを解消します。回転ベースには、各ウェハに高精度で再現可能な結果を提供するデュアルキャラクタライゼーションホイールと圧力曲げマシンが装備されています。さらに、このツールは、各ウェーハに精密な研削、ラッピング、研磨圧力を適用し、均一な仕上がりを保証します。ラッピング流体は、自動ラッピング流体供給アセットを介してウェーハ表面に分散されます。このモデルには、複数の持続時間制御機能と、ウェーハの一貫性を保つための複数のラッピングおよびポリッシングパスが含まれています。さらに、研削、ラッピング、研磨プロセスの前後にウェーハの最高レベルの清浄度を確保する統合されたウェットクリーニングシステムを使用しています。ウェーハは通常、ポリカーボネートまたはクォーツトレイまたはコンテナに配置され、ジョイスティックとセンサーシステムによって操作されます。これにより、研削、ラッピング、研磨中にウェーハを正確に移動させることができます。さらに、このユニットには、残留研磨剤やラッピング液を迅速かつ安全に除去するのに役立つ真空機械が内蔵されています。このツールは、ユーザーが処理中にウェーハのリアルタイム画像を表示できるアセットビデオモニタなどのリアルタイムプロセス監視システムに加えて、加工プロセスの最適な制御をユーザーに提供します。さらに、ウェーハごとにプロセス分析レポートを提供できる高度な診断および検査装置を搭載しています。全体として、50 SPAWは信頼性が高く効率的な研削、ラッピング、研磨システムであり、最新の工業規格に準拠しながら、薄いウェーハ生産アプリケーションに一貫して高品質の結果を提供します。