中古 SPEEDFAM 50 GPAW #9294585 を販売中

SPEEDFAM 50 GPAWは半導体産業のために特別に開発され、設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。± 0。5nmの精度で、平坦で滑らかで鏡面のような研磨面を作り出すことができます。このシステムには、+/-0。5ミクロンの精度で最大50kW出力を供給できる高トルク可変スピードモータが装備されています。50 GPAWは、最大1。5ミクロンの許容差で最大8インチのシリコンウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。本体の研磨・ラッピング作業に使用する専用の研磨紙を装備しています。研磨紙は、異なるグリットサイズと異なる硬度レベルで利用可能です。SPEEDFAM 50 GPAWは、動作中に追加の冷却剤を必要とせず、低温で表面を処理することができます。50 GPAWはPCベースのコントロールパネルによって制御されるソフトウェアが付いている完全に自動化された機械です。プロセスオートメーション中にウェーハを素早く位置決めできるビジョンツールを搭載しています。この資産には、ウェーハの自動積み降ろし用のロボットアームもあります。SPEEDFAM 50 GPAWは、1時間に最大30個のウェーハ処理が可能で、完全に自動化された閉じた環境で動作するように設計されています。このモデルには、自動洗浄およびウェーハ検査装置が装備されており、プロセスの自動化の間にウェーハの潜在的な欠陥を検出するのに役立ちます。50 GPAWは、ウェーハの測定を行い、結果をコントロールパネルに表示するために使用される高精度の測定システムを備えています。ウェーハ表面の凹凸を検出することができます。SPEEDFAM 50 GPAWは定期的な予防保全サービスで維持され、正確な動作を保証するために定期的に検査されます。ウェーハの高品質を実現しながら、精度と再現性を実現します。自動化されたツールにより、ヒューマンエラーのリスクを排除し、ユーザーは不整合や欠陥のない高品質のウェーハを生産することができます。