中古 SPEEDFAM 50 GPAW #9294584 を販売中

SPEEDFAM 50 GPAWは、薄くて高精度なウェーハを製造するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、1バッチあたり最大56インチウェーハを保持する統合ワークトレイを備えており、効率的なバッチ型の生産を可能にします。また、高剛性・高精度を実現するエアベアリングタイプのリニアスピンドルを搭載しています。このスピンドルは、フィードレート、ホイール位置、パス数、各ウエハの研磨時間などの要因を自動的に正確に制御する特許取得済みの「調整可能なオートメーションと制御」マシンを備えています。研削は、特別なペーストと一緒にCBNまたはダイヤモンド研削ホイールを使用して鋳鉄治具上で行われます。研削ホイールは、ウェーハの厚さと平坦度を正確に制御するために調整可能なラジアルランアウトを備えています。ラッピングプロセスは研削に従い、さまざまな種類の研磨布と研磨スラリーで行われます。ラッピングプロセスは、ウェーハの厚さの均一性を達成するために、インデックス可能な回転ディスクを含みます。研磨プロセスは、超滑らかさを実現するために使用され、優れた表面仕上げ品質を提供する特許取得済みのSLG （SigmaLink Grind）プロセスを利用しています。50 GPAWはまた、ウェーハや潤滑剤を研削および研磨段階から仕上げ後の段階に移す自動ウェーハ処理ツールを使用しています。本アセットは、厚さが6インチまでの幅広いウエハサイズに対応可能です。このモデルは安全でユーザーフレンドリーであり、手作業による介入を最小限に抑えたハイエンド仕上げを提供します。SPEEDFAM 50 GPAWは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。そのハイエンド技術は、短期間の生産サイクルで優れた結果を提供し、この機械で製造されたウェーハが高精度で最高品質であることを保証します。