中古 SPEEDFAM 50 GPAW #9294582 を販売中

ID: 9294582
ヴィンテージ: 2011
Single side polisher 2011 vintage.
SPEEDFAM 50 GPAWは、優れた性能、耐久性、柔軟性を提供し、お客様のニーズを満たすために最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、研削および研磨作業の広い範囲のための高精度、細かく制御された、繰り返し可能なプロセスを提供するように設計されています。50 GPAWは、さまざまなウェーハを研削、ラッピング、研磨することができるマニュアル、フルサイクルマシンです。RMR、ラックマウントローテーションメーターを備えており、さまざまなウェーハにプロセスを設定する際の精度と再現性を実現します。さらに、システムは2つの(2)空気チャック機構を備えており、それぞれ異なるアプリケーション速度向けに設計されています。このウエハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、優れた汎用性、機能性、および制御を提供します。アクティブおよびパッシブ研削/ポリッシングシリンダを備えた3つの研削/研磨スピンドル、および手動の高さ調整コントロールなど、さまざまなオプションが用意されています。インフィードおよびアウトフィードコンベアは、異なるサイズのウェハに対応するために高さを調整可能です。この機械には、研削、ラッピング、研磨作業中のウェーハの追加冷却および潤滑のための作り付けのウォータースプレーツールも含まれています。SPEEDFAM 50 GPAWには、高効率フィルターと集塵機が含まれており、ラップ/研磨された表面の汚染がないことを保証します。人間工学に基づいた設計はウェーハの積み下ろし、またリモートでプロセスを監視し、制御するとき大きい便利を提供します。50 GPAWは非常に信頼性が高く、柔軟性があり、ユーザーフレンドリーであり、優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨機能を提供します。このアセットにより、研削/研磨サイクルの異なる部分に必要となる複数のスタンドアロンマシンが不要になります。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、SPEEDFAM 50 GPAWを簡単に操作および維持しながら、優れた精度と再現性を提供します。
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