中古 SPEEDFAM 50 GPAW #9294581 を販売中
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SPEEDFAM 50 GPAWは、半導体ウェーハ、MEMS (Micro Electro Mechanical System)部品など、様々な材料の厳格な仕様と優れた表面仕上げを実現するために設計された、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このユニットは、高精度の回転駆動機、ダイヤモンド研削ホイール、および調整可能な速度ラッピングプレートで構成されており、これらはすべて最高品質の基準を念頭に置いて製造されています。精密駆動工具を搭載し、研削・ラップ加工の精度を最大限に高め、12,000rpmで± 0。25 μ mの走破精度を実現し、最小部品でも研磨加工に最適です。さらに、調整可能なスピードラッピングプレートにより、粉砕パラメータを正確に制御し、滑らかな表面仕上げを実現します。50 GPAWはまた、粉砕パラメータに応じて、0。2〜32ミクロンの範囲内で材料を粉砕および研磨することができるダイヤモンド研削ホイールを備えています。これは、均一な仕上がりを確保しつつ、基板の効率的な摩耗を可能にする方法で配置された高度なダイヤモンド粒子の使用によって達成されます。さらに、ホイールは、研削および研磨作業中に不規則な摩耗パターンを排除するように特別に設計されています。さらに、粉砕工程で最適な清浄度を確保するダスト抽出アセットを装備しています。このモデルはまた、周辺からの粉塵粒子の除去を可能にし、製品の潜在的な汚染を排除します。これに加えて、研削およびラッピング工程を効率的に冷却するためのクーラントを内蔵しており、生産性の向上とエンドユース部品の歩留まりの向上をもたらします。全体として、SPEEDFAM 50 GPAWは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨業界で非常に有用なツールです。精密駆動システム、調整可能なスピードラッピングプレート、ダイヤモンド研削ホイールにより、あらゆる精密研削および仕上げニーズに最適なソリューションです。さらに、内蔵の粉塵抽出ユニットと冷却装置により、ユーザーはクリーンで効率的な操作を実現し、優れた製品品質と高い歩留まりをもたらします。
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