中古 SPEEDFAM 50 GPAW-TD #9377482 を販売中

SPEEDFAM 50 GPAW-TDは、大量の半導体生産の厳しい要件を満たすように設計されたプロのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、表面処理と研磨後のアプリケーションの両方に必要な精度と信頼性を提供します。50 GPAW-TDは、直径200mmまでのさまざまなウエハサイズの研磨および研磨が可能です。このユニットは非常に高い精度と再現性を実現しているため、平らなシリコンウエハを研削し、その後のデバイス製造に備えるなど、要求の厳しい精密作業に最適です。SPEEDFAM 50 GPAW-TDは、優れた表面仕上げを維持しながら、高効率とスピードを兼ね備えた最先端の研磨・研磨機を採用しています。このツールには、異なる粒度のさまざまな交換可能な研削および研磨ヘッドが装備されているため、特定のアプリケーションのニーズに合わせてプロセスを簡単に調整できます。堅牢なスピンドルモータとリニアドライブは、一定の負荷条件下でも信頼性の高い動作を提供し、正確な結果を保証します。特許取得済みのエアベアリングステータドライブは、安定したrpmを維持しながら、マシンを迅速に移動させることができます。50 GPAW-TDの広い作業エリアは、大規模な生産作業に最適です。各ウェハの研磨と研磨を同時に行い、サイクルタイムを飛躍的に短縮します。大型超音波チャンバーは、SPEEDFAM 50 GPAW-TDにのみ存在するユニークな機能である、複数のウエハを一度に作業することができます。その優れた性能に加えて、50 GPAW-TDは簡単な操作とオペレータの疲労軽減のために設計されています。モダンなコントロールインターフェイスには、無人ワークフローの自動シャットオフや将来の使用のために保存およびリコールできるプリセットプロセスパラメータなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能があります。この資産には、保護カバー用の電気インターロックや緊急電源遮断スイッチなどの高度な安全システムも含まれています。SPEEDFAM 50 GPAW-TDは、すべてのウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに対応する強力で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。その精密で反復可能な結果と優れた表面仕上げは、大規模な生産と精密なポストポリッシュアプリケーションの両方に理想的なソリューションです。