中古 SPEEDFAM 50 DPAW #9294583 を販売中

SPEEDFAM 50 DPAWは、半導体ウェーハの製造に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ローダー/アンローダー、研削、ラッピングおよび研磨ヘッド、ウェハハンドリング、ループコントロールユニットを含む完全自動化システムです。単一のウエハを一度に処理するように設計されており、非常にタイトな制御要件にウエハをラップして磨くことができます。50 DPAWは、一度に最大40個のウェーハを管理できる自動ローダ/アンローダーを使用します。ウェーハはマシンに個別にロードされ、処理後にアンロードされます。さらに、このツールには、ローダー/アンローダーからアセットの他のコンポーネントにウェーハを輸送するロボットウェーハハンドリングアームがあります。研削ヘッドは、ウェーハを処理する最初のコンポーネントです。特殊研削ホイールを使用してウェーハの厚みを低減し、ウェーハが平らで滑らかになるようにします。このプロセスは、研削の進行と研削砥石の温度を監視するコンピュータモデルによって制御されます。研削が完了すると、ラッピングと研磨ヘッドがウェーハの表面をさらに洗練するために使用されます。ラッピングヘッドは平らで滑らかな表面を作成するために使用されますが、研磨ヘッドは表面仕上げの上に使用されます。このプロセスは、ラッピングと研磨の進行を追跡するコンピュータ機器によって再び監視されます。完了すると、ウエハハンドリングアームによってウエハをローダー/アンローダーに戻してアンロードします。最後に、SPEEDFAM 50 DPAWにはループ制御システムも含まれています。この単位は機械の温度、湿気および圧力を監視し、それらがすべて必要な指定内にあることを保障するのに使用されています。ループ制御ツールは、研削とラッピング/研磨ヘッドの速度を制御するためにも責任があります。全体として、50 DPAWは、半導体ウェーハの製造に使用される自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。それは単一のパスのウェーハを処理するように設計され、非常に堅い制御条件にウェーハをラッピングし、磨くことができます。ロボットウェーハハンドリングアーム、ループ制御装置を搭載し、最適な性能を確保するためにコンピュータシステムによって監視されます。