中古 SPEEDFAM 48BTAW #9199491 を販売中

ID: 9199491
ヴィンテージ: 1970
Lapping system Segmented lap plate diameter: 48” Standard segment thickness: 1-1/2” Inside diameter of the 4 conditioning rings: 18” Total ring area: 1018 Sq inches Plate speed: 63 RPM Down pressure per head: 1260 Lbs (4) Cylinder size: 5” Diameter Equipped with: 48” Diameter segmented lapping plate (4) Air pressure hold downs with pressure plates (4) Geared conditioning rings 10 Hp main drive motor & controls Water cooled table system Outside parts loading table Slurry pump & tank unit Automatic cycle timer control Push button control station 1970 vintage.
SPEEDFAM 48BTAWは、半導体およびその他の精密デバイス製造アプリケーションで使用するために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最適化された研磨研削能力と非常に低い振動特性により、優れた表面仕上げと均一性を提供し、最大のスループットと生産歩留まりを可能にします。このシステムは、研削と研磨ホイールの組み合わせを利用して、ウェーハの形状と表面仕上げを正確に制御および調整することができる多段式3速の動作を備えています。シリコン、石英、原料、ウエハなど様々な素材の正確なラッピング、研削、研磨が可能です。48BTAWは、高精度のフラットスピンドルドライブを備えており、スムーズで正確なワークフィードと高速動作を実現し、操作全体で最適な制御と精度を保証します。内蔵のコンピュータ制御プロセス機能により、スピード、フィード、クーラント調整が可能で、繰り返し可能な結果が得られます。ユーザーフレンドリーなオペレータインターフェースは、目的の研削パラメータを簡単に選択でき、LCDパネルにはグラフィカルと数値の両方のパラメータが表示され、見やすく解釈できます。また、包括的な信号出力安全装置、耐衝撃壁を備えたノイズチャンバーなど、作業エリア付近の人員を保護するための安全機能も備えています。SPEEDFAM 48BTAWは、作動中の研削砥石およびワークへの損傷を防ぐために、堅牢な自動停止モーションコントロール機能とフェイルセーフブレーキツールを備えています。この資産はまた、運転中に車輪を冷却し、清潔さを提供するために最適な研削砥石温度と内蔵の密閉クーラントモデルを確保するための高度な温度制御機能を備えています。さらに、この装置には、パーティクルサイズのディストリビューターや自動ホイールオーバードライブ保護など、さまざまな機能が含まれています。全体として、48BTAWは効率的で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、最適化された研磨研削能力と非常に低い振動特性で優れた表面仕上げと均一性を提供します。このユニットは、あらゆるウエハ研削、ラッピング、研磨用途に最適なソリューションであり、スループットと生産歩留まりを最大限に引き出すように設計されています。
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