中古 SPEEDFAM 48 GPAW #293672266 を販売中

SPEEDFAM 48 GPAWは、コンパクトで柔軟性に優れた高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半導体ウェーハ等の精度と品質を向上させるために設計されています。主成分は主軸、研削ヘッド、研磨ヘッドの3つです。スピンドルは、研削および研磨作業のために最大6000rpmの可変速度で研削ヘッドを駆動することができる高速、精密駆動モータです。研削ヘッドは、振動レベルが非常に低く、高い除去速度で適度な力に耐えるウェーハの表面および/またはエッジ調製を行うように設計されています。また、各種結晶、フェライト、セラミック基板の研削・ラップにも使用できます。研磨ヘッドはスピンドルに取り付けられ、精密な微細構造制御のために表面に微細な仕上げを作成するように設計されています。SPEEDFAM 48GPAWには、モータ速度と研削ヘッド位置をモニタリングできるLCDディスプレイが搭載されており、ウェーハを正確に加工することができます。この機械には、粉砕工程で製造されたチップを効率的に洗浄するための個別の集塵工具を備えた掃除機ユニットも含まれています。最後に、粉砕工程で保持される塵の量を減らすために、洗浄液の供給機構が含まれています。48 GPAWは、フォトニクスやマイクロエレクトロニクスなどのウェーハ特性を正確に制御する必要がある業界に最適です。また、高い精度と高い除去率で小さなウエハを処理する必要があるユーザーにも便利です。このアセットは使いやすく、ウェーハの材質や種類に関係なく、毎回優れた結果を提供するように設計されています。