中古 SPEEDFAM 48 GPAW #293672261 を販売中

SPEEDFAM 48 GPAW装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業のインラインオートメーション用に特別に設計された、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、高精度の研削、ラッピング、研磨を提供しています、品質と再現性と、各プロセスのための高い人力の必要なし。フルオートメーションのウェーハ加工装置として、プロセスは、プロセス中にオペレータの疲労や不器用さなどの人為的なエラーを排除し、さまざまな材料や仕様のために150mmから8"までの最大8つのウェーハサイズのために自動的に実行されます。このマシンは、ウェーハを安全に保持するためのウェーハホルダー、2段階の研削ヘッドを使用してウェーハを急速に研削して正確なサイズにする2つの研磨ヘッド、ウェーハを研磨するためのダイヤモンドスラリーと4つのバッフィングと研磨ヘッドで構成されています。工具の研削、ラッピング、研磨ヘッドは、すべての方向に独立して移動し、優れた研削と研磨の一貫性を確保するように設計されています。高速スピンドルは、完成品のサイクル時間と再現可能な結果を大幅に短縮することができます。チャッターマークは、振動ダンピングや硬いアセットコンポーネントの使用を避け、重い荷重でも精度を維持し、8インチの研削範囲により、各ウェーハホルダーの不要な搬送が制限されたさまざまなウェーハを確実に処理できます。高い切削力と低温上昇は、研削砥石の液体冷却、切削力のレーザーモニタリング、スピンドルを冷却する液体チラーを供給することによって保証されます。SPEEDFAM 48GPAW装置はまた、ウェーハのセンタリング機能を提供し、ウェーハの完全な登録、および研削、ラッピング、研磨プロセス中のウェーハの正確なセンタリングのための自動位置調整を可能にします。さらに、フルモニタリングシステムは、ユーザーが切削温度と力を監視できる品質保証ツールとして機能します。結論として、48 GPAWユニットは、優れた再現性と加工精度を備えた完全なウェーハ研削、ラッピング、研磨機をお探しの方に理想的なソリューションです。最終的に、革新的な設計、精密な研削、ラッピングおよび研磨技術、光学モニタリング、および自動化されたプロセスの組み合わせにより、48GPAWがウェーハを効果的かつ効率的に処理する方法であることが保証されます。