中古 SPEEDFAM 48 GPAW-III #293672263 を販売中

ID: 293672263
ヴィンテージ: 2010
Single-sided polisher 2010 vintage.
SPEEDFAM 48 GPAW-IIIウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハおよびその他の部品の研磨、研削、ラッピングに特化した完全自動システムです。効率的で高品質な結果を提供し、欠陥のない、光沢のある表面を迅速かつ効率的に生成する非常に効果的なユニットです。フルレンジ研削砥石、ウェハキャリア、ラッピングディスク、研磨パッドなどの多種多様な工具を取り揃えており、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウムなどの複雑な基板形状や材料を取り扱うように設計されています。すべてのツールは自己整列しており、正確で信頼性の高い結果を提供します。さらに、さまざまなラッピング速度とフォースコントロールを使用して、アプリケーションごとにプロセスを最適化できます。さらに効率を高めるために、ウェーハの自動ロード/アンロードがツールに含まれており、セットアップと調整時間が大幅に短縮されます。ウェーハの手動負荷を排除することで、ウェーハを傷つけるリスクを大幅に低減します。自動化された積み下ろしプロセスに加えて、最高品質の結果を保証するためのノズル洗浄資産があります。48 GPAW-IIIは、プロセス全体で簡単なキーパッドまたはマウス制御操作を可能にする直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスでプログラムされています。ラッピング速度、圧力、工具選択などのパラメータをリアルタイムで調整し、精度と信頼性を向上させることができます。また、リアルタイムウェーハ表面測定や表面応力センシング技術など、幅広い計測および制御システムを備えており、ウェーハの欠陥リスクを最小限に抑えることができます。さらに、内蔵の安全性と環境保護機能により、安全で持続可能な運用が保証されます。SPEEDFAM 48 GPAW-IIIは複雑な基板を扱う場合でも、一貫した反復可能な結果を提供するように設計されています。その柔軟性、信頼性、優れた性能により、このウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、さまざまなアプリケーションに最適です。
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