中古 SPEEDFAM 48 BW #9254521 を販売中
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ID: 9254521
Lapping system, 48"
Four ring open face style machine
Standard segmented lapping plate, 48"
Inside diameter of conditioning rings: 18"
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Equipped with:
Hardened steel segmented lapping plate, 48"
(4) Conditioning rings
Assorted pressure weights
Water cooling feature of lapping plate
Slurry pump and tank unit
10-H.P. Main drive motor and controls
Automatic cycle timer control
Wired for 3 / 60 / 220-440 V operation.
SPEEDFAM 48 BWは、半導体ウェーハ上で高品質のフラット、ミラー状の表面を正確かつ効率的に生成するように設計された高性能の多目的ウェーハ研削、ラッピング、および研磨装置です。このシステムは、特許取得済みの接触技術を使用して、滑らかで均一な研削プロセスを保証し、アプリケーションの特定の要件を満たすために幅広い調整可能なオプションを備えています。このユニットには、ウェハマウント用の直径48インチのターンテーブルと、高速研磨および研磨作業用に最大10,000RPMの高速スピンドルモータが搭載されています。研削プロセスは、繊細な研磨から積極的な研削まで、さまざまな用途で調整可能であり、機械は最小の破損で効率的な動作を保証するために垂直スピンドル変位を備えています。このマシンには、アプリケーションに最適な結果を出すために、非常に細かいものから粗いものまで、幅広いラッピングオプションが含まれています。ラッピングプロセスは、高品質の半導体ウェーハの製造から研磨材のラッピングまで、さまざまな用途で調整可能です。このツールには、最高品質の研磨面を確保するための調整可能な速度と圧力設定を提供する統合された研磨プロセスも含まれています。さらに、このマシンは完全に自動化されたクリーニングとメンテナンスルーチンを備えており、長期的な生産ニーズに効率的なソリューションを提供します。全体として、48 BWは高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、高品質の完成品を正確かつ効率的に生産するように設計されています。
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