中古 SPEEDFAM 48 BAW #9250728 を販売中

SPEEDFAM 48 BAWは、最高のスループットで高品質のウェーハを生産するように設計された多機能ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、デュアルヘッドグラインダーラッパーポリッシャーセットアップを使用して、高精度ウェハを実現するための完全なソリューションを提供します。125 μ mから500mmまでの幅広いウエハサイズを素早く処理できます。48 BAWは柔軟で使いやすいユニットで、さまざまなプロセス設定が可能です。グラインダーラッパー研磨機のセットアップは、研磨と研磨のステップの包括的な範囲を提供し、研磨サイズの様々な表面仕上げを可能にします。このマシンはまた、電力要件のためのさまざまなオプションを提供し、生産スケジューリングの柔軟性を可能にします。SPEEDFAM 48 BAWは、精度と精度を念頭に置いて構築されています。自動化されたツールは、簡単なセットアップとメンテナンスを可能にするモジュラー設計を備えています。精密ラインスキャン光学系を用いてウェーハ平坦度やZ軸勾配を測定し、研削工程の高精度な測定・制御を可能にします。また、ロータック状態を超えると自動シャットダウンするなど、さまざまな安全機能を備えています。48 BAWの自動化されたモデルは、粒子サイズと表面仕上げのすべての要件を満たすように構築されています。この装置には、リアルタイムでプロセスパラメータを追跡する包括的なプロセスモニタリングシステムも装備されており、プロセスの完全なトレーサビリティを可能にします。全体的に、SPEEDFAM 48 BAWは、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨を提供するように設計された最先端のユニットです。その使いやすいモジュラー設計は、プロセス制御、電力要件、および安全機能のためのさまざまな調整可能な設定を提供します。自動化された機械は、ウェーハ製造プロセスの品質管理とトレーサビリティを厳密に遵守します。