中古 SPEEDFAM 48 BAW #9226535 を販売中

SPEEDFAM 48 BAWは、ウェーハ表面を迅速かつ簡単に準備するために設計された包括的な研削、ラッピング、研磨ソリューションです。この装置は高精度に設計されており、望ましい表面仕上げを実現するために、サンプルウェーハから材料の原子をわずかに除去することができます。このシステムは、サンプルウェハを2枚のダイヤモンドメッキラップ工具の間で高速で回転させることで動作し、1つの工具がウェハの上部を研削し、もう1つの工具が底面を研削する。これにより、2つのプレートの間に2つの真空システムがプレートの両側に取り付けられ、その粒子はプレートの底にあるスクリーンを通して描画されます。2枚のプレートの速度と圧力を絶えず調整することで、最適な均一性でウェーハから材料を取り除きます。48 BAWは、片面と両面の両方のウェーハをラッピングし、研磨することができます。ウェーハは特殊な真空チャックによって保持され、研削およびラップ工程中に安全に固定することができます。単位は最もよい性能を保障するために物理的な変数の範囲を提供します；平坦度と表面粗さの高い1〜5ミクロンの表面を粉砕し、ラップすることができます。このマシンは、直感的な色のタッチスクリーンインターフェイスを介して動作し、関連するすべての運用データを表示し、ユーザーが研削およびラッピングプロセスを設定、監視、および制御することができます。このツールの使いやすいコントロールと設定により、高い再現性、精度、精度を実現します。SPEEDFAM 48 BAW研削、ラッピング、研磨資産は、今日の市場で最も正確な表面処理を実現するために設計された不可欠なソリューションです。高精度の機械と使いやすい制御により、あらゆる種類のウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適です。