中古 SPEEDFAM 40B #9410062 を販売中

SPEEDFAM 40Bは、シリコンなどの半導体材料の精密研削・研磨用に設計された、汎用性の高いコンパクトで高精度なウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。多種多様なウエハサイズでの研削が可能であり、複数のウエハ素材に対応しています。40Bは自動化されたコンピュータ制御システムです。このユニットは、3つの軸（Y、 Z、および回転）に沿って正確で反復可能な動きが可能な多軸テーブルを備えており、研削および研磨領域内にウェーハを配置します。これにより、研削およびラッピングツールへのウェーハの正確な配置が保証されます。また、インラインエッジ研磨機能を搭載し、精密で均一な仕上がりを実現しています。SPEEDFAM 40Bは独自の「オープンフレーム」設計により、オペレータは「デュアルプロセスプラットフォーム」アプローチにより容易にウェーハのローディングとアンロードで研削、ラッピング、研磨に簡単にアクセスできます。これにより、オペレータは2つのプロセスを同時に配置できるため、より迅速な生産プロセスが可能になります。40Bは、最新の非接触センシング技術を使用して、研削、ラッピング、研磨プロセス中のウェーハの厚さと平坦性を測定します。このフィードバックは、完璧な結果を保証するために研削と研磨パッドの位置を熱心に調整するために使用されます。SPEEDFAM 40Bツールは、堅牢で高精度なグランドスピンドル、特殊な表面安定剤、および最適化された内部研削資産のおかげで、各パスで優れた精度を達成するように設計されています。研削、ラッピング、研磨パッドの広い範囲が装備されており、これらはすべて個別またはパッドのグループで制御することができます。40Bに音響および光学警告モデル、調節可能な速度モーター、粉砕車輪の監視および電子キーおよびロックを含む多くの安全特徴があります。これにより、オペレータは安全であると同時に、機器の一貫した性能を維持することができます。SPEEDFAM 40Bは、優れた表面と厚さの精度を提供するように設計された強力でユーザーフレンドリーで生産的なシステムです。幅広い材料の精密研削、ラッピング、研磨が可能で、高品質な結果を得るための迅速かつ効率的な生産を可能にします。