中古 SPEEDFAM 36B #9217163 を販売中

SPEEDFAM 36Bは、半導体材料の片面または両面加工用のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このユニットは、さまざまな粗さレベルからナノメートル範囲に至るまで、完全に丸い基板を研削、ラップ、研磨する機能を備えています。このシステムは、マイクロエレクトロニックやオプトエレクトロニクス部品などの基板の機械的研磨に使用でき、歩留まりと生産性の向上に役立ちます。単位は2つの主要な部品から成っています：工具ホールダーおよび磨くテーブル36B。工具ホルダーは、研削ホイール、ラッピングプレート、研磨パッドを保持します。その設計は、その安定した構造のために研削、ラッピング、研磨プロセス中に異なる材料が損傷しないことを保証します。多軸研磨テーブルは、プロセスの各ステップで精密な動きを可能にし、再現性とスループット精度を提供します。このテーブルにはクローズドループ精密ドライブユニットもあり、動作中の正確な速度とフィードバック監視を可能にします。機械にいろいろな車輪の選択の粉砕の機能の広い範囲があります。標準的な粉砕車輪の速度は800から8000 rpmsまで及びます。さらに、このツールにはSPEEDFAM CW-5A Polishing Headsが搭載されており、幅広いラッピングおよび研磨アプリケーション向けに一貫した速度制御を提供します。ラッピングプレートは、研削およびラッピング作業のために直径0〜80mmの調整も可能です。研磨パッドは6,000rpmの最大回転速度を提供し、すべての研磨ヘッドと互換性のある6インチの直径を備えています。SPEEDFAM 36Bは、高精度アプリケーションのための汎用性と信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。粉砕、ラップ、研磨をほぼ完璧な表面にする機能を備えているため、歩留まりの増加と公差の厳格化が可能です。その特徴は精密速度制御および調節可能な車輪の回転速度のための閉鎖ループ帰還ループを含んでいます。このユニットのゼロメンテナンス設計は、オペレータの介入を最小限に抑える必要があるため、プロセスに依存し、生物学的に敏感な操作に最適です。