中古 SPEEDFAM 36 SPAW #9257662 を販売中

SPEEDFAM 36 SPAW （Super Precision研磨ホイール）は、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。精密研磨システムのSPEEDFAMラインのフラッグシップシステムであり、より高精度で高いスループット動作を実現するよう設計されています。SPEEDFAM 36SPAWは、研磨ホイールとダイヤモンドラップフラッシュをウェーハと共に維持しながら、研削プロセスの精度と一貫性を向上させるために、移植性と設置を容易にする独自の調整可能なCフレーム設計を備えています。また、作業面積を拡大するための36インチの大型主研削アームを搭載しており、大小のウェハを同時に加工することができます。この機械の研磨ホイールは統合されたダイレクトドライブサーボモータによって作動します。これにより、研削およびラッピングプロセスを迅速かつ正確に制御できます。このモーターはまた最高の一貫性および効率を保障するために35,000RPMまで速度に達することができます。研磨ホイールは、安全性を向上させ、騒音レベルを低減するために統合された粉塵抽出ツールが装備されている完全に囲まれたインターフェイスに収容されています。また、ダイヤモンド粒子の精密な量をワークピースにまっすぐに適用し、均一性と精度を向上させることができます。これらのオンボード機能に加えて、36 SPAWにはオプションの4ストリートインデックス治具が付属しており、ホイールは4つの別々のセクションでウェーハに移動できます。これにより、比較的短時間で複数のウェーハを迅速に表面仕上げできます。36SPAWは、バックグラインド、表面仕上げ研磨、フラットラッピングなど、さまざまな作業に適しています。高精度・高精度を実現し、ガラス、セラミックス、金属など様々な素材に適しています。あらゆる精度、高スループット、高精度の操作に最適です。