中古 SPEEDFAM 36 SPAW #9087740 を販売中

SPEEDFAM 36 SPAW装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための最先端の機械です。マイクロメカニカルデバイスなどの薄膜回路を製造するための精密かつ再現可能な条件を提供するように設計された完全自動システムです。このユニットは、研削ステーション、ラッピングステーション、ポリッシュステーション、コントロールステーションの4つの主要コンポーネントで構成されています。研削ステーションには、最大3000rpmの高速回転が可能なモータによって駆動される垂直回転式研削スピンドルが装備されています。調節可能な高さのテーブルはオペレータが粉砕のための設定を調節することを可能にします。真空機械および冷却装置は粉砕プロセスの間の温度が制御の下で保たれることを保障します。さらに、研削砥石には、表面削り用と研削用の2つの別々の砥石があります。ラッピングステーションには、サンプルラッピング用の水平回転テーブルが装備されています。真空最適化された穴あきシートラッピング技術は、均一な仕上げを確実にするのに役立ちます。研磨ステーションは、高品質の研磨を提供するように設計されています。このプロセスには、調整可能な往復ステージ、完全にプログラム可能なポリッシャーインターフェイス、およびマイクロプロセッサが含まれます。マイクロコンピュータは、研磨のプロセス全体を監視し、制御するのに役立ちます。最後に、コントロールステーションはツールの中心であり、編集および再利用できる最大500のプログラムを格納する機能を備えています。8。5 インチLCDディスプレイを搭載し、プロセスのリアルタイムデータとグラフィカルなプレゼンテーションを提供します。さらに、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えており、プロセスを迅速かつ簡単に調整できます。SPEEDFAM 36SPAWアセットは加速処理時間を提供し、正確な結果を提供しつつ、より高速な生産速度を実現します。さらに、研削速度、圧力設定、ラッピングおよび研磨パラメータなどのユーザー設定可能なパラメータを提供することで、プロセスの柔軟性を実現します。また、緊急停止スイッチやオペレータプレゼンスセンサーなどの安全機能を搭載しており、緊急時にもプロセスを停止できるようになっています。36 SPAW装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された強力で信頼性の高い機械であり、最高品質の薄膜シルイットを達成するために使用することができます。