中古 SPEEDFAM 36 SPAW #9087739 を販売中

SPEEDFAM 36 SPAW
ID: 9087739
ヴィンテージ: 1985
System, 1985 vintage.
SPEEDFAM 36 SPAWは半導体産業で使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。2インチから8インチの範囲のウェーハに、滑らかで正確な表面仕上げを提供するように設計されています。このシステムには2つの独立したスピンドルが装備されており、一度に2つのウエハの同時研削、ラッピング、研磨に適しています。SPEEDFAM 36SPAWは、各スピンドルに最大5500 RPMの最高速度を提供する強力な研削モーターを備えており、ウェーハの高効率で精密な研削または研磨を可能にします。それはまた一貫した表面の終わりを可能にし、加えられた圧力の均一な配分を保障する必要な力の調整装置が装備されています。さらに、ポストプロセスに保存された安全パラメータ、非侵入検査の制限、プログラム可能な高さカット制御、温度補償など、包括的なオンボードプロセスセーフガードが装備されています。また、研削、ラッピング、研磨プロセスをより簡単かつ効率的にするさまざまな機能を備えています。これは、ユーザーが簡単にプロセスパラメータとステップサイクル時間をカスタマイズすることができますタッチスクリーンユーザーインターフェイスで構成されています。このツールはまた、プログラミング、診断、およびパラメータ設定を提供する業界標準のグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も備えています。36 SPAWは、シリコン、ガラス、金属、複合材料など、さまざまなウェーハ材料を研削、ラッピング、または研磨することができます。また、精密かつ効率的な研削、ラッピング、ラウンドまたはスクエアウェーハの研磨を可能にする様々なアクセサリーが装備されています。スピンドルクランプ、ドレッサーストーン、スピンダイヤモンドカップ、ラッピングプレート、ホイルホルダー、研磨パッドなどが付属しています。さらに、36SPAWは堅牢なフレームと振動減衰技術で設計されており、最も信頼性が高く、堅牢なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つです。この資産はまた、優れた耐摩耗性を提供し、機械の寿命を大幅に延ばす高品質で耐食性材料で構成されています。全体として、SPEEDFAM 36 SPAWは強力で信頼性が高く、効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。高性能研削モータ、インテグラルフォースレギュレータ、各種安全機能を備え、ウェーハ表面仕上げの最高精度を実現する最適なソリューションです。
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