中古 SPEEDFAM 36 MS #9288024 を販売中

SPEEDFAM 36 MSウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハ、オプトエレクトロニクス、およびさまざまなフラットパネルディスプレイの製造のための高度な機械です。このシステムは、直径300mmまでのサイズの片面ウエハと両面ウエハの両方を研削、ラップ、研磨するように設計されています。高度の単位は異なった基質およびさまざまな刃の直径を扱うために調節可能なローディング機械が装備されています。また、高精度の電動インデックス加工と、優れた研削精度を保証するエアベアリングスピンドルを装備しています。クローズドループのフィードバック制御ツールは、均一な粉砕圧力を維持するのに役立ち、高い再現性を提供します。この構成により、マシンを生産プロセスと両面プロセスに使用することもできます。機械は反復可能で、制御可能な結果の異なった粉砕、ラッピングおよび磨くプロセスのためにプログラムすることができます。独自の研削技術により、化学機械研磨によく見られるクロスコンタミネーション関連の問題を排除します。SPEEDFAM 36MSは、ダイレクトドライブ付きの高精度スピンドルモーターと優れたエアフィルタリングと熱制御を備えた専用エンクロージャ構造を内蔵しており、より高いスループットと少ないスクラップ材料でより長い寿命性能を保証します。この資産は、専門的に設計された設計を採用しており、あらゆる種類の生産プロセスに使用することができます。精密な電動インデックスとエアベアリングスピンドルにより、直径300mmまでのシングルウェーハと両面ウェーハの両方を研削、ラップ、研磨することができます。これは、異なる基板とブレードを扱う調整可能なローディングモデルで可能になります。装置はまた一貫した粉砕圧力および高い反復性を保障する閉鎖したループのフィードバック制御が装備されています。さらに、研削、ラッピング、研磨プロセスの高度なプログラミングを可能にし、所望の出力を得ることができます。出力の品質を確保するために、36 MSは、優れたエアフィルタリングと熱制御、冷却システム、ダイレクトドライブ付きの高精度スピンドルモーターを備えた専用エンクロージャ構造など、いくつかの機能で構築されています。独自の研削技術により、クロス汚染が問題ないことを保証します。単位はまたそれをあらゆる製作の研修会のための大きい選択にする作動し、維持すること容易であるために造られます。36MSウェーハ研削、ラッピング&研磨機は、最高の効率と信頼性で最高品質の部品を製造するように設計された優れた機械です。このツールの堅牢な構造、高度な制御機能、および精密な電動インデックスとエアベアリングスピンドルにより、繰り返し可能で制御されたプロセスと優れた結果が得られます。それはあらゆる製作の研修会のために適した非常に多目的な用具です。