中古 SPEEDFAM 36 GPAW #9287337 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAWは、単一のクランプセットプロセスでフラットおよび角度のあるウェーハエッジを研削、ラッピング、研磨するために設計された、完全に自動化されたプログラム可能なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。SPEEDFAM 36GPAWは、高度なロボティクス、高精度、および優れたプロセス制御を組み合わせた最先端のシステムで、比類のない信頼性と品質のウェーハエッジ研削、ラッピング、研磨作業を提供します。36 GPAWユニットは複数のモジュールで構成されています。ロボット搭載のクランプセットモジュールは、自動化されたロボットアームとクランプマシンで構成されており、研削ホイールへのウェハローディングが高速かつ正確であることを保証します。背面研削モジュールには、ウェハバック面を確実に研削するための精密クランプ工具と研削ホイールが含まれています。エッジ研削モジュールには、ウェハを正確に配置して研削する自動ポジショナーが含まれており、すべてのエッジが正確に研削、ラップ、研磨されていることを確認します。ラッピング/ポリッシングモジュールは、高精度で電子制御された回転テーブルと調整可能なスピードレールアセットを使用して、ラッピング/ポリッシングプラッタ上にウェハを正確に配置します。背面研削とラッピング/研磨モジュールは、統合された輪郭マッピングを備えており、可能な限り最高のエッジプロファイル品質を保証します。36GPAWには、完成品の品質を検証する自動QC検査モデルも含まれています。SPEEDFAM 36 GPAWは、プロセスのトレーサビリティ、統計的プロセス制御（SPC）機能、プログラム可能なワークセンター、直感的なタッチスクリーン制御インターフェースなど、多くの追加機能を提供します。半導体デバイス製造、MEMS/MOEM、高度なウェハ製造、薄膜技術など、あらゆる半導体加工アプリケーションに適しています。この装置は、精度、再現性、および最大スループットの印象的な組み合わせで優れた性能を提供するように設計されています。SPEEDFAM 36GPAWが提供する高度な自動化により、最高レベルの品質で再現性の高い結果が保証され、高度なプロセス制御により、大量の製造および厳しい生産要件に対する信頼性と再現性が保証されます。