中古 SPEEDFAM 36 GPAW #9278867 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAWは、ウェーハ生産用の高性能ディスク仕上げ機のリーディングプロバイダーであるSPEEDFAMによって設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体などウェハ形状部品の高精度・大量生産が可能な汎用性の高い生産システムです。このユニットには「、ラッパー」と呼ばれる一連の回転ディスクが含まれており、ウェーハの表面を1ナノメートル未満の精度で研磨します。各ラッパーは、特定のアプリケーションに研削、ラッピング、研磨プロセスを調整するための駆動および制御パラメータのフルレンジで独立して動作します。このマシンは、最大直径8インチのウェーハを処理でき、さまざまな速度で動作するように構成することができます。SPEEDFAM 36GPAWは、表面の整合性、平坦性、厚さの均一性が他のシステムよりも向上し、可能な限り最高品質で最も一貫したウェーハ表面を生成するように設計されています。このツールは、優れた結果を生み出すために、パワー、精度、スピードのユニークな組み合わせを利用しています。このマシンには、最高品質の製品の研削角度とプロセスパラメータを制御するための頑丈なサーボ制御SPMが含まれています。主な資産管理は、ソフトウェア、ハードウェア、通信を含むすべての機械機能のユーザーインターフェイスおよびマネージャとして機能するデジタルPCベースのモデルです。装置ソフトウェアは使いやすく、ウェーハ研削、ラッピング、研磨ジョブの効率的なセットアップと自動化を可能にするグラフィカルインターフェイスとレシピデータベースを提供します。36 GPAWは、高精度の研削、ラッピング、研磨が必要な半導体やその他の業界で広く使用されている信頼性の高い堅牢なシステムです。これは、カスタマイズ可能な機能の数を提供し、最高品質の正確なウエハコンポーネントを生成します。