中古 SPEEDFAM 36 GPAW #9268568 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAWは、高性能電子デバイス、センサ、コンポーネント用の半導体ウェーハの研削、ラッピング、ラッピング、平滑、研磨が可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この特殊なシステムは、以前手動で行われていた特定の操作を自動化するように設計されています。SPEEDFAM 36GPAWユニットは、S 36グラインダーとP 36Aポリッシャーの2つの主要コンポーネントを備えたベースマシンで構成されています。S 36グラインダーは、半導体ウェーハの表面の欠陥を除去するために使用されるハイエンド研削工具です。特殊なダイヤモンド研削ホイールを使用して、ウェーハ素材を研削し、平らで均一な表面を作り出します。P 36A Polisherは要求される表面の滑らかさを達成するための高精度の工程内ポリッシャーです。ポリマー樹脂コーティングされた研磨パッドと高周波ラッピング機構を組み合わせ、ウェハの表面粗さを低減します。このツールは、W 36ウェーハローダーなどの追加コンポーネントを使用してアップグレードすることもできます。このコンポーネントは、安全性と効率性を向上させるために設計されており、手動読み込みに必要な時間を短縮します。さらに、手動校正ステーション、自動ウェハマッパー、微細検査ステーション、表面プロファイリングモデルを装備できます。36 GPAWのその他の機能には、操作が簡単な直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、生産歩留まりを追跡する完全に統合されたデータ取得および検証装置、および幅広い性能要件を満たすように調整できる幅広い研削および研磨パラメータがあります。さらに、このシステムは、高温や低圧などのさまざまなプロセス条件下で動作することができます。最後に、プロセスエラーが発生した場合にツールをシャットダウンする自動シャットオフマシンが付属しています。36GPAWは多くの種類の電子部品のための良質の表面の終わりを作り出すための理想的なウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く資産です。このモデルは比類のない精度と再現性を提供し、タイトな表面仕様が必要なアプリケーションに最適です。