中古 SPEEDFAM 36 GPAW #9203265 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAWは、今日の半導体産業の高精度の要件を満たすように特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは均一なケイ素のウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨くプロセスを保障するために高い定義、PLC制御の研摩媒体制御システムを特色にします。SPEEDFAM 36GPAWには、研削、ラッピング、研磨効率を向上させる複数の加工ヘッドがあります。その頭部は手動、接触なしまたはフルオート操作のために設計されています。手動操作のために、頭部は上限の半導体の処理に必要な精密を保障するために調節可能な変数の広い範囲と来ます。同時に、ユニットの高度なPLC制御により、再現性、精度、コスト効率が保証されます。36 GPAWは、均一で一貫したシリコンウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを保証するために、高度なクローズドループメディアコントロールマシンを備えています。このツールは、PLC、ポンプ付き水槽、メディアリザーバー、メディアフィーダーで構成されています。PLCは、メディア供給と研磨性を自動化し、正確に制御することができ、すべての実行で再現可能な結果を保証します。媒体の送り装置は単一および多数の石造りの処理のために設計され、石ごとの投薬および位置の特徴。36GPAWはまた最低のウェーハの暖房および排出された材料の最高の取り外しを保障する冷却およびろ過の資産が装備されています。このモデルは、シングルサイクルで直径6。5インチ（165mm）までのチップを研削、ラッピング、研磨することができます。また、さまざまな半導体加工ニーズに対応するカスタムサイズのホイールにも対応できます。さらに、さまざまな安全機能により、機器が常に安全に動作していることを保証します。緊急停止と自動再起動システムが標準パッケージの一部として含まれています。このユニットには、メディアフィルタープレートを変更するようにユーザーに思い出させるアラーム監視機能と、ユーザーの安全性を高めるためのロックアウト/タグアウトマシンも含まれています。全体として、SPEEDFAM 36 GPAWは、高効率で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、あらゆる半導体加工ニーズに高精度とコスト効率の両方を提供します。その高度で効率的な研磨制御アセットは毎回均一なプロセスを保証しますが、その他の機能により、市場で最も効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つになります。