中古 SPEEDFAM 36 GPAW #293827147 を販売中
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SPEEDFAM 36 GPAWは、高度な集積回路(IC)ウェーハの生産のために設計された特殊な研削、ラッピング、研磨装置です。金属、セラミックス、ポリマーなど多種多様な材料を研磨し、精密なナノメータ公差を実現します。ダブルホイールスピンドル、三段研磨プラットフォーム、高精度ステッピングモータを搭載しています。ダブルホイールスピンドルは、優れた表面均一性と優れた切削性能を提供するように設計されており、プロファイルカット、点滅防止、および研磨パスを1つの操作で作成できます。ステッピングモータは、切断時に超低速かつ超低力で、滑らかで正確な切断動作を提供することもできます。3段階の研磨プラットフォームは、欠陥を最小限に抑えながら、非常に平らな表面の生産を可能にします。研磨工程は、より大きな表面欠陥を除去する第1段、ウエハーの表面を滑らかにする第2段、そして非常に研磨された仕上がりを与える最終段で構成されています。このプラットフォームは、エッジロールオフを最小限に抑え、切断速度を最適化するように設計されています。機器に加えて、SPEEDFAM 36GPAWは、精度を確保するためのソフトウェアアプリケーションのホストが含まれています。これらのアプリケーションには、迅速なセットアップと環境制御を可能にするワンタッチキャリブレーションツールと、正確な測定と均一性を確保するための一連のアルゴリズムが含まれます。36 GPAWは、大量の高精度ICウエハの製造に最適です。その単位は再現性および信頼性のために設計され、製造プロセスの最高制御そして柔軟性をユーザーに与えます。高度なマシンとソフトウェアアプリケーションの組み合わせにより、最も高度で信頼性の高いウェーハコンポーネントを製造するための理想的な選択肢となります。
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