中古 SPEEDFAM 36 GPAW #293820364 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAWは、高精度で表面仕上げの半導体ウェーハやハードディスクを製造するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、生産を最適化し、パフォーマンスを最大化するための多くの機能を提供します。36インチの研削とラッピングホイールを搭載し、25mmから300mmまで幅広いウエハサイズに対応します。このホイールは30から120 RPMまでの可変速度を持ち、異なるサイズのウェーハ製品でより高いスループットと精度を保証します。車輪は高められた効率のための水再循環機械が装備されています。研削、ラッピング、研磨ツールは、ロボットアームを使用してウェーハの自動ローディングを行い、様々なサイズのウェーハの荷重を調整できます。ロボットアームは、最適なプロセス制御のためのウェーハの正確な位置決めも可能です。SPEEDFAM 36GPAWは、+/-4ミクロンの精度で一貫した高精度の研削、ラッピング、研磨精度を維持します。このアセットには、ホイール速度、サイクルタイム、研削/ラップ圧力、および材料除去率などのすべてのプロセスパラメータを表示するタッチスクリーンオペレータコントロールパネルが装備されています。これにより、プロセスの不確実性や変更が発生した場合に、簡単な調整と迅速なオペレータ応答が可能になります。36 GPAWには、緊急停止ボタンやホイールが過負荷になった場合の自動シャットオフなどの安全機能も含まれています。36GPAWは、あらゆるウェーハ研削、ラッピング、研磨オペレータに安心を提供します。高品質で高精度な結果を提供し、最小限の労力と最大限のプロセス制御でプロセスを簡単に使用できます。高度な機能を備えたSPEEDFAM 36 GPAWは、高精度と精度を必要とするあらゆる製造プロセスに最適です。