中古 SPEEDFAM 36 GPAW-TD #9274951 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAW-TDウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体技術のさらなるプロセスのために半導体ウェーハを準備するために使用される動的で汎用性の高いシステムです。多目的可変スピンドルを使用し、振動と上下流動機能を組み合わせて、さまざまなウエハタイプの正確な研削、ラッピング、研磨を保証します。このユニットは、非常に高い再現性と低サイクル時間で優れた表面仕上げを提供します。36 GPAW-TDは、メインユニットを収容するフリースタンディングベースフレームを使用し、センターバーを介して分離され、結合された最大5つのプロセスプレートを収容することができます。本体はダイレクトモータ駆動、AC軸モータはモーターインバータ可変速度駆動により動的に制御・駆動します。プラテンの振動および上下の流れは機械制御され、用具の独特な特徴です。スピンドルにはクイル駆動アセットが内蔵されており、力の均一な分布を保証し、スピンドルヘッドのずれを防ぎます。このモデルは、幅広い高度な機能、自動制御アルゴリズム、製品ライブラリ、サイクル監視、リアルタイムプロセス最適化を備えたタッチパネルによってプログラム可能です。最大速度は3600rpmで、インデックス付きの速度範囲は1〜3600rpmで、あらゆるウエハ材料の高精度な研削、ラッピング、研磨が可能です。また、プロセスの変数を迅速かつ正確に監視および調整し、再現性と信頼性の高いプロセス条件を確保することができる動的制御システムを備えています。SPEEDFAM 36 GPAW-TDウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングユニットには、緊急停止スイッチ、安全ガード、内蔵の安全プロトコルを備えたデジタル制御機など、さまざまな高度な安全機能が備わっています。このツールは、熱分解とメンテナンスの両方の要件を最小限に抑えるために設計および最適化されており、時間の経過とともに最大限の運用安定性を確保します。全体として、36 GPAW-TDは多目的でダイナミックな資産であり、優れた精度でさまざまな半導体ウェーハ材料を研削、研磨、ラップするために使用できます。高速、精度、信頼性に優れ、半導体業界にとって理想的な選択肢です。