中古 SPEEDFAM 36 GPAW T0564 #293669498 を販売中

SPEEDFAM 36 GPAW T0564ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体産業の加工ニーズを満たすように設計された汎用性と高性能ワークセルです。このシステムは3つの独立した処理段階で構成されており、すべてを正確に調整して制御することで、正確で再現性のある結果を得ることができます。第1段階は、高速リニアモータによって駆動される研削工程であり、幅広い研磨材や工具を正確な速度と性能で使用することができます。第2段階は、基板の表面をすばやくラップし、表面を1ミクロンの公差に平らにし、研磨するユニットに組み込まれたユニークな研磨荷電リングツーリングを利用したラッピングです。加工の第三段階と最終段階は研磨であり、これは基板の表面に急速に移動する研磨ヘッドを使用して、均一で反復可能な仕上がりを作り出します。36台のGPAW T0564機には、現場での運転能力も備えており、基板を機械から取り外すことなく加工・検査できるため、コストと生産のダウンタイムが削減されます。このツールには、幅広いデータ処理および分析機能を提供する包括的な制御アセットが付属しており、ユーザーは達成された表面仕上げの品質を評価および分析することができます。SPEEDFAM 36 GPAW T0564モデルは、最高品質の最終結果を提供するように設計された非常に高度なワークセルであり、現代の半導体製造での使用に理想的です。