中古 SPEEDFAM 36 DPAW #9372689 を販売中
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SPEEDFAM 36 DPAWは、今日の超薄型ウェーハの製造用に特別に設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨（DPAW）システムです。この機械は直径12インチ（305mm）までのウェーハを粉砕し、10 μ mまで厚さをラップするのに使用されています。8ピースチャック、デュアル研削、ラッピングモータ、デジタルラフィングおよび仕上げ速度制御を備えています。36 DPAWは、Active Process Control （APC）、 Adaptive Lapping、およびPrecision Control System技術も備えています。これらの技術はすべて、プロセスパラメータを自動的に維持および最適化し、製品特性やプロセス条件の変化に迅速に対応するように設計されています。これにより、優れた加工結果、均一なウェーハ、およびよりクリーンな職場が保証されます。SPEEDFAM 36 DPAWには、一度に最大30個のサンプルを処理できるサンプルチャンバーも含まれています。サンプルは自動的にチャンバーに供給され、研磨のための加工位置に移動します。この機械にまた自動プロセス制御のためのプログラム可能な論理コントローラー（PLC）、処理の間に非汚染を保障する前真空の部屋、端セットおよび他の操作のためのオンボードの液体のフィルムのポリッシャーがあります。機械は高級なステンレス鋼から組み立てられ、高い負荷に耐えることができます。回転部品は精密ボールベアリングに取り付けられ、すべてのモーターはモーター冷却キャビネットに収容されており、最大の信頼性と騒音低減を実現しています。また、タッチスクリーンコントロールパネルを備えており、プロセスパラメータを簡単かつ迅速に設定できます。36 DPAWは、優れたウェーハ品質を実現する超精密機械です。最高の精度、再現性、品質を確保するために設計された高度なプロセス技術を備えています。コンパクトなフォームファクタにより、マシンは小さなスペースを占有し、インストールとメンテナンスが容易です。
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