中古 SPEEDFAM 36 DPAW #9294574 を販売中

SPEEDFAM 36 DPAW（両面プラネタリ研磨ホイール）は、さまざまな半導体アプリケーションに高品質の表面仕上げと精度を提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、オペレータの介入を最小限に抑えて、最大スループットと最小プロセス時間を提供するように設計されています。36 DPAWには、4つの異なる研磨/研削プレートに対応する3つの独立した駆動ホイールセットを備えた独自の惑星研削/ラッピングおよび研磨ヘッドが装備されています。この機能により、マルチコーディネートおよび/またはマルチステップラッピングおよび研磨操作が可能になります。3つの独立して調節可能な車輪セットに+/− 25 μ mの公称作業範囲があり、高い反復性および正確さを保障するためにサーボモーターユニットを通って運転されます。さらに高解像度ビデオツールを搭載し、研削/ラッピングおよび研磨プロセスの正確なリアルタイム表示を可能にします。この機能により、プロセスパラメータを検査し、ワーク表面を動的に監視して、プロセスパラメータの正確な測定と最適化を行うことができます。さらに、このアセットは、無人運転のためにプログラムされた最先端のCNC制御モデルを備えており、生産アプリケーション向けの理想的なウェーハ処理装置となっています。SPEEDFAM 36 DPAWは、最大スループットと最小プロセス時間を提供するように設計されています。プログラム可能なスピンドル速度により、幅広い材料で高精度の研削/ラッピングおよび研磨作業が可能です。このシステムは、乾燥した環境と湿った環境の両方で動作することも可能で、多種多様なプロセスに適しています。高いプロセス再現性と精度を必要とする場合、36 DPAWは、特定の研削/ラッピングおよび研磨作業に設定できる幅広いプロセスパラメータを提供します。このユニットは、高解像度の光学ラッピングや研磨、高精度研削などの高度な手順を必要とする用途に適しています。SPEEDFAM 36 DPAWは、信頼性の高い再現可能な動作を提供するように設計されており、ハイエンドウェーハ処理に最適です。堅牢な構造と優れたプロセス監視および制御システムにより、完成したワークの高精度で高品質な表面仕上げが保証されます。さらに、このマシンは、研削/ラッピングおよび研磨プロセスを制御および監視し、さらに高い精度を得るためのオプションの完全に閉じたループツールを提供しています。