中古 SPEEDFAM 36 DAW #9294575 を販売中

SPEEDFAM 36 DAWは、強力で完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。当時としては先進的であり、幅広いウエハの高速かつ精密な研削、ラッピング、研磨を実現するように設計されています。これは、短いサイクル時間と高い表面仕上げ品質を保証するために最適化されています。このシステムには、複雑な研削、ラッピング、研磨プロセスのプログラミングと実行を可能にするCNC制御が装備されています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、オペレータはさまざまな設定をカスタマイズできます。高度なソフトウェアは、個々のウエハに最適な研削、ラッピング、研磨パラメータを簡単に見つけることができます。最大ウエハ径200mmの2種類のウエハサイズの研削が可能です。厚さ8mmまでのウェーハに対応可能で、研削深度は40mmまでです。この機械には、スピンドルモーター、グラインドストーン、ラッピングプレート、および希望のウェーハ特性に応じて3種類の研磨石のオプションが装備されています。モータの駆動機構はブラシレスサーボモータで行い、高精度・再現性を実現しています。統合された冷却ユニットは、プロセス全体でウェーハの均一な温度を保証します。これは正確な結果を得るために必要です。このマシンには、ロボットアームによって操作されるウェーハ用の自動ローディング/アンロード装置も含まれています。ウェーハ表面を検査するためのビジョンセンサを搭載し、顕微鏡による統合ビジョンツールとの連携も可能です。さまざまな診断機能により、運用上のセキュリティを確保します。機械に自己トラブルシューティングおよび予防の維持の特徴があり、潜在的な間違いを検出する洗練されたソフトウェアプログラムが装備されています。また、オペレータが複雑なプロセスをプログラムし、手動で介入することなく実行する方法も提供します。36 DAWは、半導体産業における研削、ラッピング、研磨プロセスの信頼性の高いパネルとなっています。堅牢な構造、正確で高速な操作、使いやすいインターフェイスにより、高品質で高均一なウェーハ表面を生成できます。