中古 SPEEDFAM 32SWM #9358878 を販売中

SPEEDFAM 32SWMは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）およびその他の小径シリコンオンアイソレータ（SOI）ウェハの大量生産用に設計された、優れたスループットとウェーハ間の均一性を誇るウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。32SWMは、直径1〜8インチ、厚さ600umまでのハイエンドラッピングと研磨のためのタイムテスト済みの業界リーダーです。汎用性の高いマシンは、ラッピングと研磨プラテンだけでなく、32のパネルが装備されており、効率的で包括的な基板処理のために設計されています。SPEEDFAM 32SWMは、対称性と高解像度の仕上げを可能にする一方で、さらなる均一性のための双方向ラッピングが可能な、1方向にサーフェスをラップすることができるユニークなツインヘッドデザインを提供しています。高速アタッチメントと自動センタリングを備えた3軸システムは、ウエハをラップする際に最高の精度を保証します。ラッピングユニットには、制御された気流を利用してパッドの摩耗を減らし、材料損失を最小限に抑えて最大限の効率を確保するエアロ機械装置も含まれています。この機能により、マシンのノイズレベルも低下し、最高の操作性を実現します。32SWMのラッピングおよび研磨制御ツールは、一貫した低ノイズ動作を確保するため、温度、速度、負荷をリアルタイムで処理します。ラッピングプレートの圧力は、環境の持続可能性と完成品の均一性のために正確に制御されます。ソフトウェアはまた、オペレータが完成したプロセスを追跡することを可能にする包括的なトレーサビリティと統計を提供します。アセットは最大限の柔軟性を目指して設計されています。本体はプレッシャーボウルと6インチバキュームチャックで補充可能で、さまざまなウエハサイズや形状の加工が可能です。統合されたコントロールユニットは、異なるラッピングと研削プロセスを迅速に切り替えることができます。全生産サイクルを通じて品質を確保するために、SPEEDFAM 32SWMモデルには、あらゆる軸のインテリジェントな計量および制御システムを含む統合された品質保証装置が同梱されています。リアルタイム測定によるラッピングプロセスのインプロセスモニタリング；エンドプロセス評価ユニットです。32SWMマシンは、大量の信頼性の高いラッピングおよび研削と同義であり、競争力のあるマシンの5倍の処理速度を提供します。高リゾリューションの終わりおよび優秀な終わりの均等性によって、用具はあらゆる生産ラインのための理想的な選択です。