中古 SPEEDFAM 32BAW #9358880 を販売中

SPEEDFAM 32BAWは精密な表面の完全性および終わりを提供するように設計されている最先端のウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。本工程ユニット、制御コンピュータ、研磨工具のライブラリで構成されています。プロセスユニットは、優れた表面仕上げと高い歩留まり性能を保証するために、可変パラメータを備えた複数の研磨ステップを正確に適用することができます。このマシンは、単一のプロセスウェーハ上で両面を同時に研削することができます。システムの基礎フレームは高力鋼鉄からなされ、長い耐用年数および円滑な操作のために設計されています。研削、ラッピング、研磨セグメントは、独自の回転研削および研磨ヘッドで構成されており、最大6,000RPMのさまざまな速度で回転できます。ユニットには、自動、プログラム可能、スパイラル、プロービングオプションが含まれています。ラッピングヘッドには、研磨操作の各ステップの調整可能な負荷設定と圧力レベルがあります。このユニットには、ラップ操作用の真空機械も内蔵しています。高解像度CCDカメラは、研削、ラッピング、研磨プロセスの前後にウェーハの詳細な目視検査を提供します。自動インプロセスウェーハサイズのモニターは、オーバー/アンダーラップを排除します。制御コンピュータは、レシピを保存し、プロセス全体を監視および制御し、ユーザーに必要なすべての情報を提供するために使用されます。また、操作パラメータのプログラミング、レシピの保存、生産プロセスの監視、生産データの収集にも使用されます。ラッピングライブラリは、ほとんどのウェーハ、サイズ、研磨用途に適したさまざまなベンダーから幅広いラッピングツールを提供します。32BAWは強力で柔軟なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、高い歩留まり、正確なウェーハ処理に優れたプロセス制御と再現性を提供します。独自の機能と堅牢な設計により、品質を損なうことなく大量のウェーハを生産するための理想的な選択肢となります。