中古 SPEEDFAM 32 #293797188 を販売中

SPEEDFAM 32は、単一または複数の半導体または電子部品の両側に高速で仕上げられた精密で高品質の平面を生成するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、2つの交換可能な研削、研磨、ラッピングモジュールをサポートするモジュラープラットフォームを備えています。また、特許取得済みのドライブヘッドを搭載しており、研削および研磨機がウェーハの精密な研削、研磨、ラッピングを高速で行うことができます。32台のユニットは、多数の高度な部品を使用して、ウェーハの研削とラッピングの高精度を実現します。モータードライブマシン、研磨・研磨ヘッドアタッチメント、光学制御ユニットの3つの主要コンポーネントがあります。モータ駆動工具は、ウェハ研削、ラッピング、研磨に必要な精密かつ反復可能な動きを提供することができます。研削/研磨ヘッドアタッチメントは、研削および研磨ディスクを光学制御ユニットと完全に整合させるように設計されています。光学制御ユニットは、研削/研磨プロセス中の研削/研磨ディスクの速度、位置、プロファイルを監視および調整するために使用されます。さらに、SPEEDFAM 32には、さまざまな研磨/研磨ディスク、研磨/ラッピング化合物、流体堆積物、およびウェーハ研磨および研磨プロセスを最適化する真空アセットも組み込まれています。これらの部品は、非常に滑らかな表面または高度にテクスチャ加工された表面の精密研磨と研磨を可能にします。さらに、32モデルには、研削/研磨誤差を監視および補正する自動誤差補正技術も搭載しており、反復ごとに表面を非常に正確に研磨および研磨することができます。SPEEDFAM 32装置は、低所有コスト、高精度、再現性、スループットなど、研削、ラッピング、研磨加工のプロセスにおいて多くの利点を提供します。自動エラー補正、精密ラッピング/研磨ディスク、研磨/ラッピング化合物、大気制御流体の組み合わせにより、高速で高精度な表面を生成できます。堅牢な設計と高精度レベルにより、32ユニットをさまざまな研削および研磨用途に使用できます。