中古 SPEEDFAM 32 SPAW #9257661 を販売中

SPEEDFAM 32 SPAWは、20mmから260mmまでのウェーハ基板の研削・研磨用に設計された多機能ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。低コストで高速なスループットアプリケーションに最適です。32 SPAWは三相研削ヘッドと一体研磨ユニットで構成されています。研削ヘッドには強力な同期モータを搭載し、幅広い切削速度と高性能な研削・ラッピングが可能です。統合された研磨ユニットには、2つのブラシレスDCモータが搭載されており、連続またはブロック単位のプロセス自動化を可能にします。完全な研磨と研磨プロセスは、高度なソフトウェア制御システムであるPHEELSに基づいています。SPEEDFAM 32 SPAWは、9軸キネマティックテーブルを備えており、高い再現性と高いウェットおよびドライ精度で高速かつ正確な研削作業を可能にします。半導体ウエハ基板（シリコン、ガリウム、炭化ケイ素、窒化アルミニウム基板など）の研磨・研磨が可能です。また、専用のスピンドルマウントディスクホルダーを搭載し、ウェーハを機械上に配置することで不要な摩耗を防ぎ、機械のコストパフォーマンスを向上させています。32 SPAWは、高品位の部品を使用して設計されており、生産の信頼性とサービスの寿命を保証します。それは自動工具細工の変更、自動車輪のドレッシング、および事前プログラムされた粉砕および磨くプロフィールのような多数の安全特徴を含んでいます。SPEEDFAM 32 SPAWは、洗練された制御ツールと統合されており、自動パスファインディングとツールローディングによる迅速なセットアップ、およびクローズドループ制御アセットによるプロセスの一貫性の向上を可能にします。全体的に32 SPAWは、幅広いウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に適した信頼性が高く、強力で費用対効果の高いモデルです。高性能、高精度、柔軟性、再現性を備え、大量の製造環境に最適なツールです。