中古 SPEEDFAM 32 SPAW #9073252 を販売中

SPEEDFAM 32 SPAW（シングルプレート研磨ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置）は、さまざまな半導体ウェーハの取り扱いと加工に最適な高精度マシンです。ウェーハの研磨・ラッピング・研磨に優れた全自動化を実現し、あらゆる生産・研究施設にとって貴重な資産となります。32 SPAWは、固定ダイヤモンド研削工具とテーブルの上に取り付けられたゴム研磨マンドレルを備えた回転テーブル設計を特徴としています。最大32個のウェーハを同時に研磨・研磨することが可能で、2「〜4」サイズのウェーハに適しています。また、セットアップ時間を最小限に抑えて厚みの異なるウエハにも対応できるように設計されています。ACスピンドルモータにより駆動され、ウェハの精密研削・研磨が可能です。ダイヤモンド研削工具は調節可能で、X軸とY軸で移動することができ、ユーザーに個々のウェーハに研削プロセスを調整する柔軟性を与え、研削仕様を制御する能力を与えます。SPEEDFAM 32 SPAWは、ダイヤモンドラッピングツールの自動調整機能を備えたユニークなモジュラーラッピングアセットも備えており、ウェーハあたり最大8ラッピングパスを可能にします。このモデルで使用されるダイヤモンドは、優れた品質であり、実施されているラッピングおよび研磨プロセスの種類に応じて選択されます。半導体のポストプロセス検査には高い精度が必要です。この装置は、ウェーハのエッジの形状と位置を決定することができるオンボードのエッジ検出システムで、これらの要件を満たすように設計されています。また、より高い精度と再現性を提供するために、研削および研磨パラメータを記録および保存する最先端のデータ収集ユニットを備えています。最後に、オプションのインライン粒子カウンタにより、研削および研磨工程で発生するダスト粒子をリアルタイムで監視することができ、ウェハの汚染を最小限に抑えることができます。これにより、最高の清潔度を満たすウェーハのみが製造されます。32 SPAWは、さまざまなウェーハを研削、ラッピング、研磨するための汎用性と信頼性の高い機械です。その革新的な機能により、あらゆるアプリケーションの要件を満たすためにウェーハを処理できると同時に、高い精度と再現性を確保します。