中古 SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 #9303720 を販売中

SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221は、半導体ウェーハの同時研削、ラッピング、研磨（DLP）に使用できる多目的マシンです。この機器は、最大限の汎用性を実現するモジュラー設計を提供し、ユーザーはプロセス要件に特化したさまざまなDLPプロセスのためにユニットを迅速に再構成することができます。このマシンは32位置のLoadPortTMシステムを備えており「、Plug&Play」機能を備えているため、手動でウェーハを転送でき、マルチオペレーション処理中に有効になります。LoadPortは、手動で介入することなく、処理されたウェーハを自動的に分配して取得します。32 DPAW-11-T0221には、処理チャンバ内の制御環境を提供するために特別に設計された幅広いプロセスツールが装備されています。ダイヤモンドドレッシングディスクを含む統合された研磨および研磨ツールは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の特定の課題に対処するように設計されています。また、ウェーハ加工に最適な温度・圧力制御が可能です。統合されたふたおよび鐘の瓶の設計は部屋をきれいに保ち、粒子の汚染を減らすために、空気ろ過と共に不活性な大気を利用します。加工されたウェーハを冷却し、プロセスの安定性を維持するために、拡張可能な水再循環マシンも含まれています。SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221は、多軸モーションコントロールツールを使用して、正確なタイミングと調整された動きを提供し、効率的なウェーハ処理を実現します。アセットには自動ロードロックも装備されており、ウェーハの高速かつ効率的なローディングとアンロードを容易にします。高解像度光学センサは、多軸モーションモデルにフィードバックと制御データを提供し、正確で反復可能なプロセスを可能にします。この装置には12インチの大型カラーグラフィックディスプレイが装備されており、ユーザーはウェーハプロセスをリアルタイムで監視および制御することができます。利用可能なウェハマッピング機能により、ユーザーはウェハの表面品質をグラフィカルに表示し、プロセスパラメータを調整して目的の結果を得ることができます。このシステムはまた、リアルタイムのデータロギングとアラーム条件による監視を提供し、プロセス中の予期しない状況や問題をユーザーに通知します。32 DPAW-11-T0221は堅い許容および大量DLPの条件のための理想的な解決で、SPEEDFAMのブランドの証明された信頼性そして性能によって支えられます。