中古 SPEEDFAM 32 BTAW #9366202 を販売中

SPEEDFAM 32 BTAWは、SPEEDFAMの最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。32インチのウェーハ容量を備え、最高レベルの精度と再現性で研磨と研磨を同時に行うことができます。このシステムは、手動および自動化されたシングルサイドおよびデュアルサイドの両方の操作を提供し、ウェーハの高性能ラッピングと研磨を実現します。SPEEDFAM 32BTAWは、生産要件を満たす最大の汎用性を提供する3軸ユニットです。2つの独立したホイールヘッドを使用すると、マシンは複数のプロジェクトを同時に処理できます。また、高精度の調節可能なテーブルとラッピングプレートで柔軟性を追加し、高精度の位置決めと位置決めの再現性を提供します。また、手動と自動のアスペクト制御、およびプロセス内の測定と表面の制御の選択肢も提供します。このツールは、温度制御、電力管理、研削/研磨圧力、スラリー管理など、さまざまなプロセス変数を備えています。さらに、さまざまなセグメント化ラッピングプレートを提供しており、高いサンプリングレート機能とリアルタイムデータ取得機能を組み合わせることで、プロセスの可変制御が容易になります。32 BTAWには、特殊なエンドオブサイクル安全装置が装備されており、研磨プレートの誤った切り替えを防ぎ、適切な起動処理条件を保証する自動安全インターロックアセットも備えています。このモデルはまた、交換可能なプレートコンセプトを使用しているため、迅速かつ簡単なセットアップ変更で簡単にアクセスできます。これにより、異なるウエハ仕様に適応する必要がなくなります。交換可能なプレートコンセプトにより、車輪の消費、計測、その他のコストの削減も可能です。品質と性能レベルを確保するために、研削盤/研磨機32BTAW装置に校正プレートが供給され、研削砥石とラッピングプレートの相対位置を測定および調整します。さらに、システムはすべてのタイプの冷却および空気軸受けシステムと完全に互換性があります。SPEEDFAM 32 BTAWウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、最高レベルの精度、再現性、柔軟性を提供し、お客様は、より費用対効果の高いプロセスとより効率的な生産のために、改善されたプロセス制御とより良いウェーハ歩留まりを達成することができます。