中古 SPEEDFAM 32 B #9204028 を販売中

SPEEDFAM 32 Bは、高精度と再現性を必要とするアプリケーション向けに設計された、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体ウェハ、フリップチップ、クォーツクリスタルウェーハの精密加工に適しています。SPEEDFAM 32Bユニットは、精密研削ホイールに接続された単軸モータで構成されています。研削砥石は、Cubic Boron Nitride （CBN）やDiamondなどの超研磨材料で作られており、ウェハ表面を正確に研削、ラップ、研磨するために必要な切削加工を提供します。切断力は、モーターと研削ホイールによってウェーハ表面に供給されます。切断力は調節可能であり、機械は10,000rpmまでの速度で作動できます。このツールには、オプションの真空チャックプレートの実装面として機能する中央マンドレルチャックも装備されています。真空チャックプレートを使用して、加工工程中にウェーハを確実に保持し、タイトな表面仕上げを可能にします。さらに、研削ホイールは中央のマンドレルチャックを使用して、ウェーハの表面を正確に集中させることができます。研削砥石には加圧オイルミストアセットが装備されており、ウェハの摩耗、温度上昇、熱変形を低減します。このモデルはまた、ウェーハ表面全体に切削力を均等に分散させ、加工結果の精度と再現性を確保するのに役立ちます。32 Bには、研削砥石の回転方向を微調整して研削性能を向上させる研削砥石回転方向制御スイッチも装備されています。研削ホイールは、時計回りまたは反時計回りに回転するように設定することができ、加工に関しては、ユーザーに追加の柔軟性を提供します。また、オプションのスピンドルアタッチメントを使用して外部ウェハを処理することもできます。これにより、ユーザーは中央マンドレルチャックと互換性のないウェーハを処理できます。最後に、集塵は装置の設計に統合されます。これは、動作環境を清潔に保つのに役立ち、また、不要な破片が研削砥石に入るのを防ぐのに役立ちます。このシステムはまた、車輪の摩耗を軽減するのに役立つ統合されたクーラントユニットを備えています。